某半导体材料企业采用3M™ LifeASSURE™ PFS滤芯，用于电子级氢氟酸、异丙醇、光刻胶等化学品的精滤

 

3M™ LifeASSURE™ PFS滤芯技术案例1：电子级化学品过滤

某半导体材料企业采用3M™ LifeASSURE™ PFS滤芯，用于电子级氢氟酸、异丙醇、光刻胶等化学品的精滤，核心挑战是高化学兼容性、低析出物与0.04μm级颗粒保留，避免化学品中的杂质影响半导体芯片制程。安装时在无尘环境下进行，采用惰性材料接口，防止接口材质与化学品发生反应产生二次污染；运行中控制温度25-30℃，压差≤0.12MPa，通过在线颗粒监测系统实时验证过滤效果，确保化学品纯度稳定。3M™ LifeASSURE™ PFS滤芯采用PES膜与聚丙烯硬件组合，兼容强酸碱、有机溶剂等各类电子级化学品，析出物含量≤10ppb，颗粒去除率≥99.9%。应用后，化学品颗粒计数稳定≤5个/100mL，满足半导体工艺化学品的严苛要求，芯片制程良率提升2%-3%，同时延长了后续制程设备的使用寿命，降低了整体运维成本。